Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. В.В.Арсланов. 2009.
процесс утонения подложки — Lost Wafer Process Процесс утонения подложки Технология селективного травления кремниевой подложки, в результате которого удаляется её большая часть, а также некоторая часть диффузионного слоя … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
lost wafer process — Lost Wafer Process Процесс утонения подложки Технология селективного травления кремниевой подложки, в результате которого удаляется её большая часть, а также некоторая часть диффузионного слоя … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
